檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "技術".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="薄膜電晶體"
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本論文研究半透光膜輔助矽膜雷射長晶，在Si (90 nm)/SiO2 (100 nm)/SiONx (1200 nm)，α=15000 cm-1條件下，成功得到20 µm的矽晶粒，並利用…
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本論文中以一種新穎的方法探討氟在低溫複晶矽薄膜電晶體中，驅入的容易度，以及對元件特性改善的效果；並對先前的技術做比較。 我們提出的方法是，使用CF4電漿來對元件的Buffer Layer做處…